Fabrication and Characterization of Non-Doped SiO 2 Cladding Layer for Polarization-Insensitive Silica Waveguide by Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 2003-07, Vol.42 (Part 1, No. 7A), p.4340-4344
Hauptverfasser: Ohkubo, Hiroyuki, Hongo, Akihito, Kashimura, Seiichi, Ohkawa, Masahiro, Ohira, Kentaro, Uetsuka, Hisato, Okano, Hiroaki
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.42.4340