Process Proximity Correction by Neural Networks

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003, Vol.42 (Part 1, No. 6B), p.3908-3912, Article 3908
Hauptverfasser:	Jeon, Kyoung-Ah, Yoo, Ji-Yong, Park, Jun-Taek, Kim, Hyeongsoo, An, Ilsin, Oh, Hye-Keun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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