Threshold Energy Resist Model for Critical Dimension Prediction

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003, Vol.42 (Part 1, No. 6B), p.3905-3907
Hauptverfasser:	Yoo, Ji-Yong, Kwon, Young-Keun, Park, Jun-Taek, Sohn, Dong-Soo, An, Ilsin, Oh, Hye-Keun, Han, Woo-Sung
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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