157-nm Single-Layer Resists Based on Main-Chain-Fluorinated Polymers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003, Vol.42 (Part 1, No. 6B), p.3743-3747
Hauptverfasser:	Irie, Shigeo, Ishikawa, Seiichi, Hagiwara, Takuya, Yamazaki, Tamio, Furukawa, Takamitsu, Itani, Toshiro, Kawaguchi, Yasuhide, Kodama, Syun-ichi, Yokokoji, Osamu, Kaneko, Isamu, Takebe, Yoko, Okada, Shinji
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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