Vibration Control of a Microactuator for Servo Application by Active Damping

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2003, Vol.42 (Part 1, No. 3), p.1486-1490
1. Verfasser:	Hirano, Toshiki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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