Calibration of Non Linear Properties of Pb(Zr, Ti)O 3 Cantilever Using Integrated Piezoresistive Sensor for High Speed Atomic Force Microscopy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002-11, Vol.41 (Part 1, No. 11B), p.7153-7157
Hauptverfasser:	Nam, Hyo-Jin, Kim, Young-Sik, Cho, Seong-Moon, Lee, Caroline Sunyong, Bu, Jong-Uk, Hong, Jae-Wan, Khim, Zheong-Gu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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