Development of High-Reflection Mirrors of Fluoride Multilayers for F 2 Excimer Laser by Ion Beam Sputtering Method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002-09, Vol.41 (Part 1, No. 9), p.5751-5752
Hauptverfasser:	Yoshida, Toshiya, Nishimoto, Keiji, Etoh, Kazuyuki, Kataoka, Izumi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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