Deposition of Diamond-Like Carbon Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002, Vol.41 (Part 1, No. 8), p.5408-5414
Hauptverfasser:	Tada, Shigekazu, Ito, Masafumi, Hamagaki, Manabu, Hori, Masaru, Goto, Toshio
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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