Development of Electron Source for Auger Electron Spectroscopy in Scanning Probe Microscope Systems

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002, Vol.41 (Part 1, No. 7B), p.4943-4947
Hauptverfasser:	Miyatake, Yutaka, Nagamura, Toshihiko, Hattori, Ken, Kanemitsu, Yoshihiko, Daimon, Hiroshi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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