Influence of Organic Contaminant on Trap Generation in Thin SiO 2 of Metal-Oxide-Semiconductor Capacitors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002-07, Vol.41 (Part 1, No. 7A), p.4750-4753
Hauptverfasser:	Yoshino, Takenobu, Yokoyama, Shin, Fujii, Toshiaki
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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