Fabrication of Single–Crystal Silicon Field Emitter Array on Glass Substrate

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002, Vol.41 (Part 1, No. 6B), p.4307-4310
Hauptverfasser:	Higa, Katsuya, Asano, Tanemasa
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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