Characterization of Hard Diamond-Like Carbon Films Formed by Ar Gas Cluster Ion Beam-Assisted Fullerene Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002-06, Vol.41 (Part 1, No. 6B), p.4295-4298
Hauptverfasser:	Kanda, Kazuhiro, Kitagawa, Teruyuki, Shimizugawa, Yutaka, Haruyama, Yuichi, Matsui, Shinji, Terasawa, Mititaka, Tsubakino, Harushige, Yamada, Isao, Gejo, Tatsuo, Kamada, Masao
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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