Advanced Retrograde Well Technology for 90-nm-Node Embedded Static Random Access Memory Using High-Energy Parallel Beam

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2002-04, Vol.41 (Part 1, No. 4B), p.2399-2403
Hauptverfasser:	Yamashita, Tomohiro, Kitazawa, Masashi, Kawasaki, Yoji, Takashino, Hiroyuki, Kuroi, Takashi, Inoue, Yasuo, Inuishi, Masahide
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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