Reduction of Threading Dislocations in GaN on Sapphire by Buffer Layer Annealing in Low-Pressure Metalorganic Chemical Vapor Deposition
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 1999-12, Vol.38 (12R), p.6605 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.1143/JJAP.38.6605 |