Reduction of Threading Dislocations in GaN on Sapphire by Buffer Layer Annealing in Low-Pressure Metalorganic Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 1999-12, Vol.38 (12R), p.6605
Hauptverfasser: Tadao Hashimoto, Tadao Hashimoto, Masaaki Yuri, Masaaki Yuri, Masahiro Ishida, Masahiro Ishida, Yoshitami Terakoshi, Yoshitami Terakoshi, Osamu Imafuji, Osamu Imafuji, Takashi Sugino, Takashi Sugino, Kunio Itoh, Kunio Itoh
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.38.6605