Thickness Dependence of Material Properties of Epitaxial Pb(Zr x Ti 1-x )O 3 Films on Ir/(100) (ZrO 2 ) 1-x (Y 2 O 3 ) x /(100)Si Structures
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 1999-09, Vol.38 (9S), p.5378 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.1143/JJAP.38.5378 |