Metalorganic vapor Phase Epitaxy of Sb-doped ZnSe
The Sb-doped ZnSe was grown on (100)GaAs substrate by using the Metalorganic Vapor Phase Epitaxy method in atmospheric pressure in order to obtain a p-type ZnSe film. The C-V measurement of the Sb-doped ZnSe layer suggests a p-type conduction. The maximum space charge concentration obtained was 1.5×...
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 1997-05, Vol.36 (5A), p.L540-L542 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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