Three dimensional optical emission tomography of an inductively coupled plasma

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Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1997-07, Vol.36 (7B), p.4605-4616
Hauptverfasser:	OKIGAWA, A, TADOKORO, M, ITOH, A, NAKANO, N, PETROVIC, Z. L, MAKABE, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Fundamental areas of phenomenology (including applications) Image reconstruction tomography Imaging and optical processing Optics Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma production and heating Plasma sources
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