Effect of metal-organic composition fluctuation on the atmospheric-pressure metal-organic vapor phase epitaxy growth of GaAlAs/GaAs and GaInAs/InP structures
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 1991-05, Vol.30 (5A), p.L783-L785 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.1143/jjap.30.l783 |