Internal Stress and Thermal Expansion Coefficient of GDa-Si Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1981-01, Vol.20 (1), p.289
Hauptverfasser:	Miyagi, Masami, Funakoshi, Nobuhiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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