Quantitative Study of Implanted Gold Atoms in Silicon p + -n Junctions by Measurement of the Thermally-Stimulated Current
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Veröffentlicht in: | Japanese Journal of Applied Physics 1979-01, Vol.18 (9), p.1861-1862 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.1143/JJAP.18.1861 |