Effects of the Growth Temperature and Substrate Orientation on the Incorporation of Si, Ge and Sn into Vapour Epitaxial GaAs

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese Journal of Applied Physics 1974-01, Vol.13 (3), p.484-494
Hauptverfasser: Nakanisi, Takatosi, Kasiwagi, Masahiro
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/JJAP.13.484