The Spatial Distribution of Deposition Rates in the DC Diode Sputtering of ZnO Thin Film

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 1972-01, Vol.11 (12), p.1852-1852
Hauptverfasser:	Minakata, Makoto, Chubachi, Noriyoshi, Kikuchi, Yoshimitsu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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