AlGaN/GaN-on-Silicon Metal–Oxide–Semiconductor High-Electron-Mobility Transistor with Breakdown Voltage of 800 V and On-State Resistance of 3 m$\Omega$$\cdot$cm$^{2}$ Using a Complementary Metal–Oxide–Semiconductor Compatible Gold-Free Process
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Veröffentlicht in: | Applied physics express 2012-06, Vol.5 (6), p.66501 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1882-0778 1882-0786 |
DOI: | 10.1143/APEX.5.066501 |