New Aspects in Nanofabrication Using Near-Field Photo-Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics express 2009-07, Vol.2, p.75504
Hauptverfasser:	Kobayashi, Kiyoshi, Sato, Arata, Yatsui, Takashi, Kawazoe, Tadashi, Ohtsu, Motoichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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