HOT EMBOSSING FOR MEMS USING SILICON TOOLS
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | International journal of computational engineering science (IJCES) 2003-09, Vol.4 (3), p.609-612 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | |
---|---|
ISSN: | 1465-8763 |
DOI: | 10.1142/S1465876303001873 |