Influence of treatment in the (O2,H2) plasma on the structure and physical properties of SnO x films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physics of the solid state 2011-02, Vol.53 (2), p.390-397
1. Verfasser: Beisenkhanov, N. B.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1063-7834
1090-6460
DOI:10.1134/S1063783411020041