Influence of treatment in the (O2,H2) plasma on the structure and physical properties of SnO x films
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Veröffentlicht in: | Physics of the solid state 2011-02, Vol.53 (2), p.390-397 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1063-7834 1090-6460 |
DOI: | 10.1134/S1063783411020041 |