Dependence of the surface topology and raman scattering spectra of Ge x Si1−x /Si films on the composition variation over the layer thickness
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Veröffentlicht in: | Crystallography reports 2013-05, Vol.58 (3), p.509-512 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 1063-7745 1562-689X |
DOI: | 10.1134/S1063774513030127 |