Scanning calorimetry measurements of the gas temperature in an RF-discharge fluorine-containing plasma

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma physics reports 2000-04, Vol.26 (4), p.328-334
Hauptverfasser:	Magunov, A. N., Lukin, O. V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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