Controlling plasma composition during carbon film deposition in microwave discharges by means of optical-emission spectroscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma physics reports 2003-09, Vol.29 (9), p.789-795
Hauptverfasser:	Dvorkin, V. V., Dzbanovskii, N. N., Minakov, P. V., Suetin, N. V., Yur'ev, A. Yu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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