The transition from 2D to 3D nanoclusters of silicon carbide on silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Technical physics letters 2003-08, Vol.29 (8), p.663-665
Hauptverfasser:	Trushin, Yu. V., Safonov, K. L., Ambacher, O., Pezoldt, J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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