A study of the zirconium-oxygen interaction in silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Technical physics letters 2001-10, Vol.27 (10), p.852-854
Hauptverfasser:	Pchelintseva, T. S., Prokof’eva, V. K., Svetukhin, V. V., Ambrozevich, A. S., Rygalin, B. N., Lysenko, L. N.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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