The formation of volume elements for microelectromechanical systems in polyimide by method of reactive ion beam etching

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Technical physics letters 2001-02, Vol.27 (2), p.90-92
Hauptverfasser:	Stognij, A. I., Orekhovskaya, T. I., Timoshkov, Yu. V., Koryakin, S. V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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