Surface gettering of background impurities and defects in GaAs wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductors (Woodbury, N.Y.) N.Y.), 2001-02, Vol.35 (2), p.177-180
Hauptverfasser:	Vlasenko, L. S., Gorelenok, A. T., Emtsev, V. V., Kamanin, A. V., Poloskin, D. S., Shmidt, N. M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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