Nature of the transitional region during the deposition of titanium boride and nitride films on gallium arsenide

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Technical physics letters 1999-10, Vol.25 (10), p.789-791
Hauptverfasser:	Ermolovich, I. B., Konakova, R. V., Milenin, V. V., Senkevich, A. I.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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