Sputtering characteristics of fullerene C60 films under bombardment with 0.1–1-keV argon ions and atoms
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Veröffentlicht in: | Technical physics 2000-06, Vol.45 (6), p.766-769 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1063-7842 1090-6525 |
DOI: | 10.1134/1.1259717 |