Electron spectroscopy of objects for nanoelectronics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Technical physics 1999-09, Vol.44 (9), p.1077-1080
1. Verfasser: Mikushkin, V. M.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1063-7842
1090-6525
DOI:10.1134/1.1259475