Salient features of the analysis of layered structures by means of ion sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Technical physics 1997-09, Vol.42 (9), p.1091-1093
Hauptverfasser:	Dorozhkin, A. A., Filimonov, A. V., Kovarskii, A. P., Kudryavtsev, Yu. A., Petrov, N. N.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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