Study of submicron deposits in polycrystalline materials using the internal-friction method
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Veröffentlicht in: | Semiconductors (Woodbury, N.Y.) N.Y.), 1997-07, Vol.31 (7), p.714-715 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1063-7826 1090-6479 |
DOI: | 10.1134/1.1187074 |