Reduction of elastic strains in directly-bonded silicon structures

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physics of the solid state 1999-11, Vol.41 (11), p.1790-1798
Hauptverfasser:	Argunova, T. S., Vitman, R. F., Grekhov, I. V., Kostina, L. S., Kudryavtseva, T. V., Gutkin, M. Yu, Shturbin, A. V., Härtwig, J., Ohler, M., Kim, E. D., Kim, S. Ch
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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