Reduction of elastic strains in directly-bonded silicon structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physics of the solid state 1999-11, Vol.41 (11), p.1790-1798
Hauptverfasser: Argunova, T. S., Vitman, R. F., Grekhov, I. V., Kostina, L. S., Kudryavtseva, T. V., Gutkin, M. Yu, Shturbin, A. V., Härtwig, J., Ohler, M., Kim, E. D., Kim, S. Ch
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1063-7834
1090-6460
DOI:10.1134/1.1131099