Induced Resonance Comb Drive Scanner

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	The Journal of the Acoustical Society of America 2012, Vol.131 (1), p.639-639
Hauptverfasser:	Davis, Wyatt O., Urey, Hakan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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