Alignment-tolerant lens structures for acoustic force actuation of cantilevers

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	The Journal of the Acoustical Society of America 2009, Vol.125 (6), p.4104
1. Verfasser:	Elrod, Scott A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!