MEMS teeter-totter accelerometer having reduced nonlinearty

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	The Journal of the Acoustical Society of America 2007, Vol.121 (5), p.2477
Hauptverfasser:	Leonardson, Ronald B., Malametz, David L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!