MEMS enhanced capacitive pick-off and electrostatic rebalance electrode placement

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	The Journal of the Acoustical Society of America 2005, Vol.117 (6), p.3350
Hauptverfasser:	Yue, Aiwu, Leonardson, Ronald B.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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