A new open diffusion technique using evaporated Zn 3 P 2 and its application to a lateral p-n-p transistor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 1984-08, Vol.31 (8), p.1083-1085
Hauptverfasser:	Schmitt, F., Li Man Su, Franke, D., Kaumanns, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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