A frequency selective device utilizing the mechanical resonance of a silicon substrate

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 1966-08, Vol.ED-13 (8/9), p.673-673
Hauptverfasser:	Wilfinger, R.J., Chhabra, D.S., Bardell, P.H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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