Optical Emission Spectroscopy Study of Ar–H 2 Plasma at Atmospheric Pressure
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Veröffentlicht in: | IEEE transactions on plasma science 2018-08, Vol.46 (8), p.2909-2915 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0093-3813 1939-9375 |
DOI: | 10.1109/TPS.2018.2850855 |