Sputter Deposition of Nanostructured TiO 2 Thin Films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on plasma science 2014-10, Vol.42 (10), p.2790-2791
Hauptverfasser:	Horakova, Marta, Cerny, Pavel, Kriz, Pavel, Bartos, Petr, Spatenka, Petr
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!