Gamma and vacuum ultraviolet irradiations of ion implanted SiO 2 for MOS dielectrics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on nuclear science 1974-12, Vol.21 (6), p.159-166
Hauptverfasser:	Emms, C. G., Holmes-Siedle, A. G., Groombridge, I., Thomson, J. J., Bosnell, J. R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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