Generation of InGaZnO Nanoparticle by Ar/O 2 Plasma Exposure for Performance Improvement of Oxide TFTs

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 2024-07, Vol.71 (7), p.4160-4165
Hauptverfasser:	Jeong, Myeonggi, Kim, Junyeong, Bae, Jinbaek, Mobiadul Islam, Md, Lee, Jiseob, Nahar, Sabiqun, Priyadarshi, Sunaina, Jang, Jin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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